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A-523 是一款带直接驱动的空气轴承 Z 倾斜/倾斜平台。 该平台设计为平行运动多轴系统，可用于 Z 轴和倾斜/倾斜运动。 该平台以微型格式提供超精密。 非接触式组件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供顶级性能、质量和使用寿命。 当 A-523 与 A-81x 或 A-82x 系列控制器一起订购时，PI 在应用了伺服调谐优化和施加负载的情况下执行 Z 平台的配置和布线。 您会收到一个完整的、即用型的定位系统。
产品优势：
- Z 方向的行程范围为 ±2.5 mm
- 以 θX、θY 为单位的旋转范围至 ±1°
- 负载能力达 8 公斤
- 平台直径 250 毫米
- 总高度 60 毫米
产品参数：
活动轴 Z θX θY
行程 Z 5 mm
旋转范围 θX 2°
θY 中的旋转范围 1.6 °
Z 方向的加速度，空载 10 m/s² max.
Z 方向的最大速度，空载 200 mm/s
偏航（θX 方向的旋转串扰与 Z 方向的运动）± 25 µrad typ.
俯仰（θY 方向的旋转串扰，Z 方向的运动）± 25 µrad
Z ± 0.25 µm 典型值的双向重复性。
θX ± 8 µrad 典型值的双向重复性。
θY ± 8 µrad 典型值的双向重复性。
Z 轴定位精度，校准 ± 0.5 µm typ.
以 θX 为单位的定位精度，未校准 ± 15 µrad typ.
θY 中的定位精度，未校准 ± 15 µrad typ.
Z 0.01 µm 典型值的最小增量运动。
θX 中的最小增量运动 0.06 µrad typ.
θY 中的最小增量运动 0.06 µrad typ.
集成传感器 绝对线性编码器
传感器信号 BiSS-C
传感器分辨率 1nm
标称电压 24V
峰值电压 60 V
标称电流，RMS 1.4 A
峰值电流，RMS 2.8 A
力常数 5.9 N/A
电阻相 - 5.2 Ω
电感相相 1 mH
反电 4.2 V s/m max.
极距 N-N 19.66 mm
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德国PI 倾斜平台附带空气轴承A-523