德国PI（Physik Instrumente）

德国PI N-381 NEXACT线性促动器

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产品优势：
行程30毫米
力量生成达10牛
带NEXACT压电陶瓷步进驱动
可选配：集成线性编码器，分辨率为20纳米

应用领域：
工业级精度定位
半导体技术
半导体测试
晶圆检测
平版印刷术
纳米压印
纳米测量
强磁场和真空中运动

产品参数：
主动轴  X
行程 30毫米
集成传感器 - 增量线性编码器
传感器分辨率 - 20纳米*
模拟模式下的行程: ±5微米（最大值）
分辨率，开环 -0.03纳米**
分辨率，闭环 - 20纳米*
最大速度 10 毫米/秒*
机械特性
最大推/拉力（主动） 10牛
最大保持力（被动） 15牛
可允许的侧向力  10牛（最大值）
驱动特性
驱动类型 NEXACT线性驱动器
工作电压  -10伏至+45伏
工作温度范围 0至50摄氏度
材料 铬钢/碳纤维复合材料
质量 ：255克
电缆长度  1.5米
电机连接器15针 HD Sub-D 15针（公头）
传感器连接 - HD Sub-D 15针（母头）

型号：
N-381.30
N-381.3A


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德国PI N-381 NEXACT线性促动器