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XYZ压电弯曲扫描仪

PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和泄漏电流增加引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。事实证明，没有单一故障的1000亿次循环。

零游隙挠性导轨，导向精度高

挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们是100％真空兼容的，并且可以在宽温度范围内工作。

平行位置测量，在纳米范围内具有很高的跟踪精度

所有的自由度均以单个固定参考为参考。可以实时地（取决于带宽）主动补偿与另一轴发生的不必要的运动串扰（主动引导）。即使在动态操作中，也可以在纳米范围内实现高跟踪精度。

型号展示：

 

压电挠曲XYZ定位器和扫描仪

 

P-733.3 XYZ压电纳米定位器

高精度XYZ光圈扫描仪

 

P-616NanoCube®纳米定位器

紧凑的并联运动压电系统，用于纳米定位和光纤对准

 

P-611.3NanoCube®XYZ压电系统

紧凑的多轴压电系统，用于纳米定位和光纤对准

 

P-561•P-562•P-563 PIMars纳米定位台

高精度纳米定位器，最多可容纳3个轴

 

P-517•P-527多轴压电扫描仪

高动态纳米定位仪/扫描仪，具有直接位置测量功能

用于显微镜的压电挠曲XYZ扫描仪

 

P-545.xR8SPInano®XY（Z）压电系统

用于高分辨率显微镜的廉价纳米定位系统

 

P-545.xC8SPInano®Cap XY（Z）压电系统

电容位置测量，用于超高分辨率显微镜

 

P-545.3D8SPInano®Trak压电跟踪系统

快速XY（Z）平台用于高动态显微镜

紧凑型精密XYZ纳米扫描仪

 

P-363 PicoCube XY（Z）压电扫描仪

高动态纳米定位系统，用于扫描探针显微镜

 

P-313 PicoCube XY（Z）压电扫描仪

皮克计精度高带宽，用于扫描探针显微镜

德国PI XYZ压电弯曲扫描仪