郜赛楠 QQ:2853369883 手机:18518172483 电话:010-64714988-174 传真:010-84786709-667 邮件:sales18@handelsen.cn |
P-612.2 XY压电纳米定位系统
特点:
· 紧凑型:表面60 mm×60 mm
· 100 µm×100 µm闭环行程范围(130 µm×130 µm,开环)
· 对于成本至关重要的应用
· 通光孔径20 mm×20 mm
· 并联运动学,响应时间更快,多轴精度更高
· PICMA®压电执行器,使用寿命长
· 也可作为精简版
应用领域:
· 扫描显微镜
· 高通量显微镜
· 超分辨率显微镜
· 掩膜/晶圆定位
· 干涉仪
· 测量技术
· 生物技术
· 显微操作
PICMA®压电执行器,使用寿命长
获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和泄漏电流增加引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。事实证明,没有单一故障的1000亿次循环。