德国PI（Physik Instrumente）

用于扫描探针显微镜的动态纳米定位器

 

用于 AFM / SPM 的超高性能闭环扫描仪

用于生物/纳米技术的紧凑型操作工具

共振频率 9.8 kHz 用于特别快速的扫描

自动补偿导向误差的平行测量技术

分辨率 50 皮米

行程 5 µm × 5 µm × 5 µm

pi-P-363 PicoCube XY(Z) 压电扫描仪

应用领域

扫描探针显微镜

原子力显微镜

扫描筛选

零间隙挠性导轨实现高导向精度

挠性导轨免维护、免摩擦和免磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且它们对冲击和振动不敏感。它们 100% 真空兼容，可在很宽的温度范围内工作。

 

由于平行位置测量，在纳米范围内具有高跟踪精度

所有的自由度都是根据一个单一的固定参考来测量的。轴之间不需要的串扰可以实时（取决于带宽）主动补偿（主动引导）。即使在动态操作中，也能在纳米范围内实现高跟踪精度。

 

具有电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。它们保证出色的运动线性度、长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。

 

自动配置和快速组件更换

机械和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械装置 D-sub 连接器的 ID 芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。

pi-P-363 PicoCube XY(Z) 压电扫描仪